6月28日,中国计量科学研究院高真空计量专家于红燕对常州检验检测标准认证研究院研制的高真空校准装置进行了现场检定。经检定,该装置在测量准确度±0.05%范围达到了国际先进水平,在极限真空度1×10-7Pa以下计量溯源方面达到了国内领先水平。
该装置采用了常州检标院自主研制的采用双微流量阀控制低真空腔室到高真空腔室的气流缓释设计,得到了专家充分肯定。此项技术将对“卡脖子技术”的芯片自主创新、特种金属真空冶炼、航空航天新材料制造等领域提供有力技术支撑。(常州检验检测标准认证研究院)